探針臺 EG2001

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概述：

  EG2001是半導體6英寸及以下晶片在片測試生產的全自動探針臺，設計上具有高精度、模塊化的特點，可以按照客戶的功能要求進行組件的選配。通過可選組件的配置可以實現自動上卸片、晶片自動對準、自動測試、載片臺(CHUCK)溫度控制、自動分選等功能。

  EG2001系列自動探針臺的核心是采用空氣靜壓軸承的Linear Reluctance Stepper Motor 磁阻式平面步進電機。該結構具有氣浮軸承長期連續使用無機械磨損、控制系統完善、步進精度高、啟停迅速、噪音小、維護方便等優點。