探針臺(tái) EG2001

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概述：

  EG2001是半導(dǎo)體6英寸及以下晶片在片測(cè)試生產(chǎn)的全自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)上具有高精度、模塊化的特點(diǎn)，可以按照客戶(hù)的功能要求進(jìn)行組件的選配。通過(guò)可選組件的配置可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上卸片、晶片自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)、自動(dòng)測(cè)試、載片臺(tái)(CHUCK)溫度控制、自動(dòng)分選等功能。

  EG2001系列自動(dòng)探針臺(tái)的核心是采用空氣靜壓軸承的Linear Reluctance Stepper Motor 磁阻式平面步進(jìn)電機(jī)。該結(jié)構(gòu)具有氣浮軸承長(zhǎng)期連續(xù)使用無(wú)機(jī)械磨損、控制系統(tǒng)完善、步進(jìn)精度高、啟停迅速、噪音小、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn)。